<strike id="55pv5"><dl id="55pv5"></dl></strike>
<em id="55pv5"><strike id="55pv5"><dl id="55pv5"></dl></strike></em>
<noframes id="55pv5"><span id="55pv5"><i id="55pv5"></i></span>

    技術文章您的位置:網站首頁 >技術文章 > 配有HMDS氣體檢測的HMDS烘箱有嗎

    配有HMDS氣體檢測的HMDS烘箱有嗎

    更新時間:2023-10-26   點擊次數:251次


    配有HMDS氣體檢測的HMDS烘箱

          HMDS烘箱用于光刻前基板的疏水性處理工藝。它是將HMDS(六甲基二硅胺烷)通過氣相沉積的方法均勻的涂布在基底表面,使基底表面接觸角增大,基底表面由親水性變為疏水性,就會增強光刻膠的粘附性。避免了顯影后光刻膠漂膠、裂膠的不良現象。

    但是HMDS具有一定的傷害性,大量吸入會刺激與灼傷鼻子與呼吸道器官系統,會產生頭痛、呼吸困難、呼吸急銷遲促、咳嗽以及眼睛紅腫并感到眼睛來自刺痛與灼傷。所以,在使用過程中的安全性不容忽視。

    我司HMDS烘箱 不同的設計原理,使得整個工藝過程都在密閉的回路中完成,并有效排出殘余氣體,同時具有HMDS實時監測功能,具有泄露報J提示音。


    溫度范圍:RT+10-200℃

    真空度:≤1torr

    操作方式:一鍵運行 

    真空泵:無油渦旋真空泵

    容積:40L/90L/210L,可定制

    產品兼容性:2~12寸晶圓及碎片、方片等

    適用行業:MEMS、濾波、放大、功率等器件,晶圓、玻璃、貴金屬,SiC(碳化硅)、GaN(氮化鎵)、ZnO(氧化鋅)、GaO(氧化鎵)、金剛石等第三代半導體材料。


    分享到:

    返回列表返回頂部
    COPYRIGHT @ 2016 網站地圖    滬ICP備16022591號-1   

    上海雋思實驗儀器有限公司主營產品:無氧化烘箱,精密熱風烘箱,晶元烘箱,百級氮氣烤箱,無氧烤箱
    地址:上海奉賢柘林工業區3213號

    環保在線

    推薦收藏該企業網站
    国产高潮流白浆免费观看,99久久国语露脸精品国产,18禁裸体美女无遮裆网站,黄片毛片体验区

    <strike id="55pv5"><dl id="55pv5"></dl></strike>
    <em id="55pv5"><strike id="55pv5"><dl id="55pv5"></dl></strike></em>
    <noframes id="55pv5"><span id="55pv5"><i id="55pv5"></i></span>