后曝光氮氣烘箱，PEB無塵烘箱所使用的高溫（100-130°C）會使光敏化合物擴散，從而消除駐波波紋.百級潔凈度無塵化，專用于半導體，集成電路。

智能型無塵無氧烘箱(PI固化厭氧烤箱)箱體內裝有氧含量分析儀，全程檢測氧含量值，并記錄。

三箱式百級無塵烤箱，電子百級潔凈烘箱耐高溫超潔凈H.E.P.A，(特殊風道設計)過濾效果可達99.99%,Class100

高溫百級無氧烘箱，500度厭氧潔凈烤箱用于PI、BCB 膠高溫固化烘烤、銀膠固化、光刻膠固化、電子陶瓷材料、硅片退火、玻璃退火、無塵烘干的特殊工藝要求。

不銹鋼無塵烤箱，雙層無塵烘箱應用于目前關鍵的半導體電子行業（如硅片干燥，堅膜烘烤，裝片機后道烘烤，塑封后烘烤，治具烘烤等），另外，雙層無塵烘箱還在LED制造行業中用于烘烤玻璃基板、無機材料行業中用于材料高精度工序。

百級無塵烘箱，不銹鋼無塵烤箱用于IC生產中前烘、后烘烤、堅膜、裝片機后端烘烤、塑封封裝烘烤、光刻膠固化、治具干燥、薄膜烘烤、硅片干燥等工藝。

電子無塵烤箱，電子潔凈烘箱 晶圓是指硅半導體集成電路制作所用的硅芯片。在硅芯片上可加工制作成各種電路組件結構，而成為有特定電性功能之IC產品。一般是芯片電路設計-晶圓的制造-晶圓的測試-晶圓的切割研磨-芯片的封裝-成品芯片的測試。在整個工藝中晶圓烘烤工藝也很重要，且需要多次烘烤。