光伏電池片HMDS處理系統，HMDS預處理烘箱就是涂膠前要進行增粘處理。由于襯底表面吸水特性，使疏水的光刻膠無法與親水的晶圓表面結合良好。未經過HMDS表面處理的晶圓在后道工藝中容易造成漂條、浮膠等，導致光刻圖形轉移的失敗，同時濕法腐蝕容易發生側向腐蝕。

HMDS烘箱真空泵，HMDS烘箱無油泵真空干泵具有靜音(50dBA)和低振動運行的， 密封設計(真空區與電機和軸承全隔開) 可提供潔凈的泵內氣體環路;從而消除了油或油脂帶來的污染風險。

HMDS專用烘箱，HMDS真空涂膠系統適用行業：MEMS、濾波、放大、功率等器件，晶圓、玻璃、貴金屬，SiC(碳化硅)、GaN(氮化鎵)、ZnO（氧化鋅）、GaO（氧化鎵）、金剛石等第三代半導體材料。

HMDS增粘劑烘箱，HMDS涂膠機即HMDS(六甲基二硅烷)增粘劑氣相涂布，涂膠工藝的配置機臺。

OAP烘箱，OAP處理烘箱處理主要是為了改善親水性表面，變為疏水性，從而達到增加光刻膠粘附性的作用。

HMDS蒸鍍烤箱，可程式HMDS機臺通過對烘箱預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料預處理及相關行業

芯片HMDS預處理，可編程HMDS通過對烘箱預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料預處理及相關行業。